
廈門太星機(jī)電有限公司
經(jīng)營模式:商業(yè)服務(wù)
地址:廈門市集美區(qū)東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機(jī)組
業(yè)務(wù)熱線:0592-6800154
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廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
6、氣體管路的支架要求耐腐蝕,可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。
7、氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑,設(shè)置合適的支架位置。
8、特氣管道需與其他管道分開單獨(dú)引入,氫氣管道與其他管道同架鋪設(shè)時(shí)間隔少0.25M,切應(yīng)在其他管道上方。
9、其他標(biāo)準(zhǔn)要求則需根據(jù)實(shí)驗(yàn)室具體結(jié)構(gòu)制定。
廈門太星機(jī)電有限公司生產(chǎn)真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設(shè)計(jì)、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質(zhì)輸送、控制系統(tǒng)集成,以及實(shí)驗(yàn)室搭建和無塵潔凈室建設(shè)工程總包服務(wù)商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環(huán)真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機(jī)及干冰清洗、3D打印服務(wù)。
2.系統(tǒng)檢測
特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測,氦檢漏,顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀,不用壓力表。這樣大大提高了檢測的精密度。水、氧測試采用水氧分析儀;顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀,精度達(dá)到0.1微米;而對要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)(CNC)它可達(dá)到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測試根據(jù)具體要求確定。

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對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對于高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。